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苏哲一边听着,一边在脑中快速的计算着。
牛光辉相关的参数说的很详细,也点出了问题的所在,及锡滴在大功率波长10.6微米红外光的照射下会出现不稳,导致的结果是无法获得波长13.5纳米的紫外光。
听完这些,苏哲没在听牛光辉和司文博两人的讨论了,自顾自的在大脑中计算起来。
说来也巧,这等离子体EUV光源产生的原理和他研究的ZGZ-原子振动模型有点关系。
他们大的框架是一样的,及原子在特定的状态下吸收了特定波长的电磁波,从而释放了波长特定的电磁波。
相对来说,ZGZ-原子振动模型是个特列。
苏哲有了搭建ZGZ-原子振动模型的经验,计算EUV光刻机使用的EUV光源的速度要快的多。
先是计算出锡原子的状态信息,接着是计算锡原子在吸收波长10.6微米红外光后的反应……
慢慢,锡原子吸收波长10.6微米红外光,释放波长13.5纳米的紫外光的模型出现在他的脑海中。
至于锡滴在大功率的波长10.6微米红外光的照射下不稳,其原因是在紫外光的照射下,部分锡原子的状态已经发生了改变。
很显然,牛光辉他们是知道原因的,他们改进的方法是往锡滴中加入其他的金属。
他通过计算,发现这个方向是对的,但加入的金属和加入金属的比例都有着严格的要求。
加入其他金属的目的,是为了防止绝大多数锡原子在大功率红外光的照射下改变了原子的状态信息。
牛光辉他们尝试着加入锂、铍、铝、钙、铁、铂、金、银等等四十多种金属。
苏哲根据搭建ZGZ-原子振动模型的经验,再加上计算,剔除了元素周期表中绝大多数金属,仅剩下三种,及铍、钙、钡。
通过简单的计算,钡被放弃了,剩下铍和钙。
将铍和钙带入计算,最后确定了铍。
继续计算铍和锡的比例,确定了三组比例。
……
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